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半導體芯片、真空鍍膜應用
  • 作者:sino-fluorine
  • 發(fā)布時間:2020-09-04
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蘇威25/6真空泵油(型號FOMBLIN Y LVAC 25/6或DRYNERT 25/6)作為全氟聚醚(PFPE)類高性能潤滑劑,具有以下顯著優(yōu)點:

1. 卓越的化學穩(wěn)定性與惰性

  • 對強酸、強堿、腐蝕性氣體(如氟氣、SiH?、PH?等)及氧化/還原劑表現(xiàn)出高度惰性,幾乎不與化學物質(zhì)反應,尤其適用于半導體工業(yè)中需接觸特種氣體的嚴苛環(huán)境。

  • 與金屬、塑料、彈性體、橡膠等材料兼容性好,避免因材料腐蝕導致的設備損壞。

2. 優(yōu)異的熱穩(wěn)定性與低蒸汽壓

  • 在高溫(如200°C)下仍保持穩(wěn)定,蒸發(fā)熱為7 cal/g,蒸發(fā)率極低(149°C下22小時蒸發(fā)損失僅0.6%),確保高溫環(huán)境下真空度穩(wěn)定。

  • 極低蒸汽壓(25°C時為6×10?? torr,100°C時為6×10?? torr),減少油蒸氣逆流污染,適用于高真空系統(tǒng)。

3. 出色的潤滑性能

  • 在寬溫度范圍和高負載條件下仍能有效潤滑,減少機械磨損,延長真空泵使用壽命。

  • 低表面張力(20°C時為22 dyne/cm)和高粘度指數(shù)(113),提升泵的抽速和真空效率。

4. 安全性高

  • 無閃點、燃點,不可燃,避免火災隱患,符合半導體等高危行業(yè)的安全標準。

  • 低毒性且無臭氧消耗風險,對人體健康和環(huán)境友好。

5. 環(huán)境適應性與穩(wěn)定性

  • 耐輻射和光照,適用于核能、電子等特殊場景。

  • 寬工作溫度范圍(-35°C至200°C以上),傾點低至-35°C,適應極端氣候。

6. 應用領域廣泛

  • 專為單級/雙級旋片泵、羅茨泵、螺桿泵設計。

  • 在半導體芯片加工、真空鍍膜、化工等對潔凈度和可靠性要求高的領域表現(xiàn)優(yōu)異。

技術參數(shù)補充

  • 密度1.90 g/cm3(20°C),運動粘度278 CST(20°C),介電性能優(yōu)異,適合電氣應用。

  • 抗乳化性和抗溶劑性突出,減少油品劣化和維護頻率。

綜上,蘇威25/6真空泵油憑借其全氟聚醚分子結(jié)構(gòu)的獨特優(yōu)勢,在嚴苛工業(yè)環(huán)境中提供了長效、安全、穩(wěn)定的潤滑與密封解決方案。


【本文標簽】: 溶劑清洗蒸汽除油
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